| 硅烷热分解生产多晶硅的三维模拟 |
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| 引用本文： | 黄国强,潘金花,毛俊楠,王红星,范江洋.硅烷热分解生产多晶硅的三维模拟[J].人工晶体学报,2012,41(6):1587-1594. |
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| 作者姓名： | 黄国强 潘金花 毛俊楠 王红星 范江洋 |
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| 作者单位： | 天津大学化工学院,天津,300072;福州大学化学化工学院,福州,350002 |
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| 摘 要： | 本文建立了硅烷和氢气体系中气体动量、热量和质量同时传递,并且耦合硅烷热分解反应的多晶硅气相沉积模型,选择适宜的物理模型和边界条件通过流体力学软件Fluent 6.3.26进行数值模拟.之后模拟了进气组成、反应温度、反应压力及进口速度等因素对沉积特性的影响,得到结论:当进气组成、反应温度和反应压力增大时,硅的沉积速率增大、单位能耗降低；当进气速度增大时,硅的沉积速率和单位能耗均呈增大趋势；在进口区域硅沉积速率随着硅棒延伸增大,在离进口较远的区域,硅沉积速率随着硅棒延伸而减小.
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| 关 键 词： | 硅烷 化学气相沉积 多晶硅 数值模拟 |
Three-dimensional Simulation of Silane Thermal Decomposition in Polysilicon Production |
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| HUANG Guo-qiang
,
PAN Jin-hua
,
MAO Jun-nan
,
WANG Hong-xing
,
FAN Jiang-yang.Three-dimensional Simulation of Silane Thermal Decomposition in Polysilicon Production[J].Journal of Synthetic Crystals,2012,41(6):1587-1594. |
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| Authors: | HUANG Guo-qiang PAN Jin-hua MAO Jun-nan WANG Hong-xing FAN Jiang-yang |
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| Institution: | 1(1.College of Chemical Engineering,Tianjin University,Tianjin 300072,China; 2.College of Chemistry and Chemical Engineering,Fuzhou University,Fuzhou 350002,China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | |
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