| 多对流耦合环境下Cz-Si固液界面形态的仿真方法及控制参数研究 |
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| 引用本文： | 姜雷,刘丁,赵跃,刘志尚.多对流耦合环境下Cz-Si固液界面形态的仿真方法及控制参数研究[J].人工晶体学报,2012,41(6):1762-1767. |
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| 作者姓名： | 姜雷 刘丁 赵跃 刘志尚 |
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| 作者单位： | 西安理工大学国家联合晶体生长设备及系统集成工程研究中心,西安,710048 |
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| 基金项目： | 国家科技重大专项，国家自然科学基金 |
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| 摘 要： | 固液界面形态是各种晶体生长研究的关键,固液界面形态问题是—个移动边界问题.然而在Cz-Si系统中,移动边界问题又与对流耦合,尤其是与晶体旋转所引起的强迫对流直接耦合,构成了含有第三方耦合因素的移动边界问题.本文提出一种基于FVM的迭代法解决此问题,对多流耦合环境下的固液界面形态进行了仿真和研究,分析了晶体旋转对界面形态的影响.最终将仿真结果与采用快速提离法在实践中获得的界面形态进行对比,取得了一致性.
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| 关 键 词： | 直拉硅单晶 固液界面形态 迭代法 移动边界 |
Study on Solid-liquid Interface Morphology Simulation Method and Control Parameters of Cz-Si under Multi-stream Coupled Environment |
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| JIANG Lei
,
LIU Ding
,
ZHAO Yue
,
LIU Zhi-shang.Study on Solid-liquid Interface Morphology Simulation Method and Control Parameters of Cz-Si under Multi-stream Coupled Environment[J].Journal of Synthetic Crystals,2012,41(6):1762-1767. |
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| Authors: | JIANG Lei LIU Ding ZHAO Yue LIU Zhi-shang |
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| Institution: | (National United Crystal Growth Equipment and System Integration Engineering Research Center, Xi’an University of Technology,Xi’an 710048,China) |
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| Abstract: | |
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