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扫描电镜与能谱仪
摘 要:
<正>扫描电镜利用精细聚焦电子束照射在样品表面,该电子束可以是静止或在样品表面作光栅扫描。在这个过程中,电子束与样品相互作用产生各种信号,其中包括二次电子、背散射电子、俄歇电子、特征X射线和不同能量的光子等,这些信号来自样品中的特定区域,分别利用探测器接收,可以提供样品的各种信息,用于研究材料的微观形貌、晶体学特征和微区化学成分。X射线能谱仪是扫描电镜附带的附件,通过检测从样品出射的特征X射线的波长或能量,测定样品元素的组成、相对含量以及分布。
关 键 词:
扫描电镜
能谱仪
电子束照射
背散射电子
特征x射线
光栅扫描
相互作用
二次电子
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