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| 金属互连电迁移噪声的多尺度熵复杂度分析 | |
| 作者姓名： | 何亮 杜磊 庄奕琪 李伟华 陈建平 |
| 作者单位： | (1)西安电子科技大学技术物理学院,西安 710071; (2)西安电子科技大学微电子学院,西安 710071 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金,陕西省西安市科技计划 |
| 摘 要： | 针对传统频域方法用于分析金属铝互连中的噪声信号的局限性,本文采用多尺度熵方法分析电迁移噪声时间序列.结果表明在电迁移早期,噪声信号较不规律,复杂度较大;随空洞成核的发生,噪声信号规律性增强,复杂度明显减小,反映出随电迁移过程的进行系统的混乱度不断减小.通过与传统表征参量的对比,证明多尺度熵能够对电迁移失效过程进行表征.
关键词：
电迁移
噪声
多尺度熵
复杂度 |
| 关 键 词： | 电迁移 噪声 多尺度熵 复杂度 |
| 收稿时间： | 2007-12-26 |
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