| 混合配体配合物胍基脒基镧的合成及性能 |
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| 引用本文： | 谢乾,丁玉强.混合配体配合物胍基脒基镧的合成及性能[J].合成化学,2023(11):855-863. |
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| 作者姓名： | 谢乾 丁玉强 |
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| 作者单位： | 江南大学化学与材料工程学院 |
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| 摘 要： | La2O3薄膜材料应用广泛，而制备La2O3薄膜的前驱体合成面临着挑战，多数现有前驱体热稳定性差、合成路线复杂或者成本高等问题。因此，本文报道了混配型和均配型的胍基、脒基镧配合物二(N,N′-二异丙基-甲胺基胍基)一(N,N′-二异丙基戊基脒基)合镧(配合物1)和三(N,N′-二异丙基-甲胺基胍基)合镧(配合物2),通过1H NMR,13C NMR表征结构；通过热重分析(TGA)研究所有配合物的热稳定性和挥发性。结果表明：配合物1在加热至170.0℃时，其蒸气压会急剧上升；在202.0℃能产生1.0 Torr的蒸气压；在260.0℃以下该配合物有良好的热稳定性。以上数据说明：该配合物比较好地满足CVD工艺条件，是一种潜在的化学气相沉积前驱体；通过CVD技术，在源加热温度210℃、沉积温度为260.0℃、沉积时间为10.0 min的条件下得到约11.9 nm薄膜，SEM和XPS分析了薄膜的形貌和成分，实验结果表明沉积的纳米薄膜为高纯的La2
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| 关 键 词： | 胍基 脒基 前驱体 La2O3 化学气相沉积 薄膜材料 |
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