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杂志ISSN号
用FTMS方法原位制备Yba_2Cu_3O_(7-δ)薄膜气压和位置相关性研究
作者姓名:
曾宪庭
凌兆兴
黄康权
作者单位:
华中理工大学物理系,香港中文大学物理系
摘 要:
本文用双靶相对磁控溅射法(FTMS)在1.2Pa至26.6Pa气压范围原位制备高温超导YBa2Cu3O7-б薄膜,重点研究了溅射气压和功率与双靶间距和衬底位置之间的相关性.结果表明,为制备高质量超导薄膜,在不同的溅射气压下,存在不同的靶一衬底最佳几何配置,溅射薄膜的组分、性能和溅射粒子的空间分布亦取决于这些参数的选取.
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