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| 扫描电子显微镜发展动态 | |
| 作者姓名： | 姚骏恩 |
| 作者单位： | 中国科学院科学仪器厂 |
| 摘 要： | 扫描电子显微镜(简称扫描电镜)是近十余年朱迅速发展起来的一种大型精密电子光学仪器.它具有以下特点:(1)分辨本领高、景深长、成象富有立体感、试样制备简单;(2)和X光微区分忻仪、俄歇电子谱仪、电子能量损失谱仪、二次离子质谱仪以及通道电子衍射技术等相结合,可以在观察微区形貌的同时,逐点分析试样的化学成份及结构;(3)可用于观察半导体器件的工作状态,检查其失灵原因;(4)可用于研究材料的阴极发光性质,等等.因此它的应用范围日益广泛.自1965年末扫描电子显微镜开始有商品以来,到1973年的短短七、八年内,据不完全统计,全世界已有2500台… |
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