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叠层金属硅化物／硅远红外探测器
引用本文：顾聚兴.叠层金属硅化物／硅远红外探测器[J].红外,1990(4):41-41.
作者姓名：顾聚兴
摘    要：
关 键 词：远红外  控测器  硅化物  硅
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