| GaN及AlGaN薄膜透射光谱的研究 |
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| 引用本文： | 李超,李雪,许金通,李向阳.GaN及AlGaN薄膜透射光谱的研究[J].光子学报,2009,38(9). |
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| 作者姓名： | 李超 李雪 许金通 李向阳 |
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| 作者单位： | 中国科学院上海技术物理研究所,传感技术国家重点实验室,上海,200083 |
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| 摘 要： | 利用透射光谱矩阵光学原理,对三种GaN或AlGaN外延薄膜的透射光谱进行了分析.在传统的透射光谱拟合方法的基础上,添加了表征材料表面粗糙度、膜内散射情况的拟合参量,拟合曲线与实验曲线达到了准确的吻合.结果表明:外延薄膜透射光谱的拟合可以准确提取出材料的消光系数、表面状况、散射情况、折射率及厚度,从而对样品质量作出详细的分析.
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| 关 键 词： | 透射光谱 光散射 消光系数 |
Transmission Spectra of GaN and AlGaN Films |
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| LI Chao,LI Xue,XU Jin-tong,LI Xiang-yang.Transmission Spectra of GaN and AlGaN Films[J].Acta Photonica Sinica,2009,38(9). |
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| Authors: | LI Chao LI Xue XU Jin-tong LI Xiang-yang |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | GaN |
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