| 非晶SiO_xN_y薄膜的红外吸收光谱研究 |
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| 引用本文： | 石旺舟,欧阳艳东,俞波. 非晶SiO_xN_y薄膜的红外吸收光谱研究[J]. 光谱学与光谱分析, 2001, 0(2) |
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| 作者姓名： | 石旺舟 欧阳艳东 俞波 |
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| 作者单位： | 汕头大学物理系!515063汕头 |
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| 基金项目： | 广东省重点科技项目! (2KB0 0 80 5G)资助课题 |
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| 摘 要： | 通过改变O和N含量研究了SiOxNy 薄膜中从 6 0 0到 16 0 0cm- 1 范围内的红外吸收谱特征。结果表明 ,起源于单一Si—O、Si—N键的吸收峰在 110 5和 86 5cm- 1 处 ;而随着薄膜中O或N含量的升高 ,位于单一键吸收峰的两侧出现因O—Si—O、N—Si—N的对称和反对称键吸收的左右肩 ;对O—Si—N ,其特征吸收峰位于 10 36和 85 6cm- 1 处。
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| 关 键 词： | SiOxNy薄膜 晶格振动 红外吸收 |
Investigation of a-SiO_xN_y Thin Film by Infrared Absorption |
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| Wangzhou SHI,Yandong OUYANG and Bo YU. Investigation of a-SiO_xN_y Thin Film by Infrared Absorption[J]. Spectroscopy and Spectral Analysis, 2001, 0(2) |
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| Authors: | Wangzhou SHI Yandong OUYANG Bo YU |
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| Affiliation: | Wangzhou SHI,Yandong OUYANG and Bo YU Department of Physics,Shantou University,515063 Shantou |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | SiO xN y thin film Lattice vibration Infrared absorption |
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