| 乙酸改性γ-Al2O3高效去除痕量PCl3的研究 |
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| 引用本文： | 黄鹏兵,袁威,王雪莹,王悦,张建树,邓人攀.乙酸改性γ-Al2O3高效去除痕量PCl3的研究[J].石河子大学学报,2024(2):133-139. |
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| 作者姓名： | 黄鹏兵 袁威 王雪莹 王悦 张建树 邓人攀 |
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| 作者单位： | 石河子大学化学化工学院/化工绿色过程省部共建国家重点实验室培育基地 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金项目(31800828)； |
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| 摘 要： | 在多晶硅生产过程中,为了不影响产品性能,必须将杂质PCl3的含量降低到ppb的水平,然而,这目前仍旧是一个巨大的挑战。本研究提出了一种可高效去除痕量PC13的方法,即利用乙酸改性γ-Al2O3作为吸附剂,其可去除ppb级别的PC13,去除率高达84.2%。Boehm滴定实验表明,改性后的γ-Al2O3表面羧基含量大幅增加,从而增加了吸附PCl3的活性位点,使其对PCl3的吸附性能显著提升。表征分析和DFT模拟计算表明,乙酸与γ-Al2O3主要是通过γ-Al2O3中的羟基H和乙酸中的羰基O形成氢键而相互作用的;除了物理吸附外,γ-Al2O3中的Al与PCl3中的Cl,以及乙酸中的羰基O与PCl3中的P之间还可通过电荷转移...
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| 关 键 词： | γ-Al2O3 乙酸 吸附 痕量PCl3 多晶硅 |
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