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| 载流子注入全内反射型GaAs／GaAIAs光波导开关 | |
| 引用本文： | 庄婉如,林雯华,等.载流子注入全内反射型GaAs／GaAIAs光波导开关[J].半导体学报,1993,14(1):1-5. |
| 作者姓名： | 庄婉如 林雯华 |
| 作者单位： | [1]中国科学半导体研究所，集成光电子学国家重点联合实验 [2]中国科学半导体研究所，集成光 |
| 摘 要： | 研制出利用载流子注入能带填充效应制成的全内反射型（CI－TIR）GaAs/GaAIAs光波导开关。开关工作波长为0．87μm，工作电流70mA，消光比14dB，串话－13dB，该开关具有尺寸小，与偏振无关，无阻塞，易集成的优点。 |
| 关 键 词： | 光波导 光波导开关 载流子注入 |
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