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分子束外延生长p型ZnSe-ZnTe超晶格
引用本文:徐梁,王海龙,沈爱东,崔捷,陈云良,沈玉华.分子束外延生长p型ZnSe-ZnTe超晶格[J].半导体学报,1993,14(8):505-508.
作者姓名:徐梁  王海龙  沈爱东  崔捷  陈云良  沈玉华
作者单位:中国科学院上海光机所,中国科学院上海光机所,中国科学院上海光机所,中国科学院上海光机所,中国科学院上海光机所,中国科学院上海光机所 上海 201800,上海 201800,上海 201800,上海 201800,上海 201800,上海 201800
摘    要:一种p型应变层超晶格已用调制掺杂技术实现,这种超晶格材料是由不掺杂的ZnSe层和掺Sb的ZnTe层交替生长组成的,电学性质已由霍尔效应测量获得。p型应变层超晶格的空穴迁移率为220—250cm~2/V·s,空穴浓度为3—5×10~(14)/cm~3。

关 键 词:分子束外延  ZnSe-ZnTe  超晶格  P型
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