| MEMS 器件的白光干涉测量 |
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| 引用本文： | 王宇华,权成根,申路. MEMS 器件的白光干涉测量[J]. 佛山科学技术学院学报(自然科学版), 2014, 0(6) |
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| 作者姓名： | 王宇华 权成根 申路 |
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| 作者单位： | 1. 佛山科学技术学院 机电工程系,广东 佛山,528000
2. 新加坡国立大学 机械系,新加坡,119077 |
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| 摘 要： | 白光干涉测量法适用于 MEMS 器件的三维表面形貌测量。通过 Matlab 仿真，讨论了在局部峰点插值法中采用三次样条插值的优势，从测量速度、测量精度、抗噪能力和扫描步距等方面对局部峰点插值法与傅立叶变换滤波法、希尔伯特变换法、小波变换法进行比较。最后经过中值滤波预处理、局部峰点插值法处理后，得到器件的三维表面形貌。
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| 关 键 词： | 微机电系统 白光干涉 三维表面形貌 |
White light interferometry of MEMS devices |
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| WANG Yu-hua,QUAN Cheng-gen,SHEN Lu. White light interferometry of MEMS devices[J]. Journal of Foshan University(Natural Science Edition), 2014, 0(6) |
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| Authors: | WANG Yu-hua QUAN Cheng-gen SHEN Lu |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | MEMS white light interferometry 3D surface topography |
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