| 金属氧化物直热式气体传感器的制作工艺研究 |
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| 引用本文： | 刘宏,刘东升,谷云峰.金属氧化物直热式气体传感器的制作工艺研究[J].山西电子技术,2012(3):80-81. |
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| 作者姓名： | 刘宏 刘东升 谷云峰 |
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| 作者单位： | 四平市吉华高新技术有限公司,吉林四平136001 |
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| 摘 要： | 金属氧化物直热式气体传感器是一种功耗很低的气体传感器,本文叙述了金属氧化物直热式传感器的制作工艺研制的过程,并对该项技术的发展方向进行了展望。
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| 关 键 词： | 金属氧化物 直热式 气体传感器 制作工艺 |
Research on Production Technology of Metal Oxide Straight Hot Gas Sensor |
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| Liu Hong,Liu Dong-sheng,Gu Yun-feng.Research on Production Technology of Metal Oxide Straight Hot Gas Sensor[J].Shanxi Electronic Technology,2012(3):80-81. |
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| Authors: | Liu Hong Liu Dong-sheng Gu Yun-feng |
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| Institution: | (Siping Jihua Advanced Technology Co.,Ltd.Siping Jilin 136001,China) |
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| Abstract: | Metal oxide straight hot gas sensor is a kind of gas sensors which power consumption is very low.This paper describes the development process of the metal oxide straight heat sensor production technology,and the development direction of this technology is prospected. |
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| Keywords: | metal oxide straight hot gas sensor production process |
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