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掺氮铌酸锂薄膜的制备及基本物性研究
引用本文:崔娇,钟海涛,李文灿,孔勇发,刘士国,陈绍林,张玲,Romano Rupp,许京军. 掺氮铌酸锂薄膜的制备及基本物性研究[J]. 人工晶体学报, 2016, 45(5): 1266-1270
作者姓名:崔娇  钟海涛  李文灿  孔勇发  刘士国  陈绍林  张玲  Romano Rupp  许京军
作者单位:南开大学物理科学学院,天津,300071;南开大学泰达应用物理研究院,弱光非线性光子学教育部重点实验室,天津300457;南开大学物理科学学院,天津300071;南开大学泰达应用物理研究院,弱光非线性光子学教育部重点实验室,天津300457
基金项目:国家自然科学基金(91222111
摘    要:采用激光脉冲沉积与射频等离子体相结合的方法(PLD-RF),在蓝宝石衬底上一步沉积了掺氮铌酸锂(LiNbO3:N)薄膜.采用X射线衍射仪(XRD)、X射线光电子能谱仪(XPS)和紫外-可见-红外光谱仪(UV-Vis-NIR)对LiNbO3:N的晶格结构、掺杂含量及价态、光学性质进行了研究.结果表明铌酸锂薄膜沿(006)方向择优生长,其中氮的原子含量为2.04;,替代氧原子的位置,N的掺入有效的窄化了LiNbO3的带隙,使其紫外-可见吸收光谱的吸收边出现红移,并且在铌酸锂禁带中引入了杂质能级(Ev),能级深度为2.7 eV.

关 键 词:铌酸锂  氮掺杂  PLD-RF,

Study on Fabrication and Physical Properties of Nitrogen Doped Lithium Niobate Films
Abstract:
Keywords:lithium niobate  nitrogen doping  PLD-RF
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