| 钙钛矿型氧化物电极对Ba0.6Sr0.4TiO3薄膜电学性能的影响 |
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| 引用本文： | 秦文峰,韩孝强.钙钛矿型氧化物电极对Ba0.6Sr0.4TiO3薄膜电学性能的影响[J].人工晶体学报,2016,45(5):1353-1356. |
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| 作者姓名： | 秦文峰 韩孝强 |
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| 作者单位： | 中国民航飞行学院航空工程学院,德阳,618307 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金民航联合基金重点项目(U1233202) |
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| 摘 要： | 采用脉冲激光沉积技术(PLD)在单晶基片LaAlO3(001)、MgO(002)上分别制备Ba06Sr04TiO3/La0.5Sr05CoO3(BST/LSCO)、Ba0.6Sr04TiO3/SrRuO3 (BST/SRO)异质结构,研究了LSCO和SRO底电极对BST薄膜晶相结构、表面形貌及BST薄膜电容器的电学特性的影响.研究发现,沉积在钙钛矿氧化物底电极上的BST薄膜表面平整,并都具有良好的外延生长.由于生长在LSCO底电极BST薄膜的压应力大于生长在SRO底电极的压应力,BST/LSCO异质结构的介电可调率为79.58;,而BST/SRO的介电可调率仅为68.26;,两种底电极上生长的BST薄膜都具有较低的漏电流.
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| 关 键 词： | Ba0.6Sr0.4TiO3薄膜 脉冲激光沉积 底电极 介电常数 |
Effect of Perovskite Oxide Electrodes on Electrical Properties of Ba0.6Sr0.4TiO3 Thin Film |
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| QIN Wen-feng,HAN Xiao-qiang.Effect of Perovskite Oxide Electrodes on Electrical Properties of Ba0.6Sr0.4TiO3 Thin Film[J].Journal of Synthetic Crystals,2016,45(5):1353-1356. |
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| Authors: | QIN Wen-feng HAN Xiao-qiang |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Ba0 6Sr0 4TiO3 thin film pulsed laser deposition bottom electrode dielectric constant |
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