| 多孔硅基WO3气敏传感器的制备与性能研究 |
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| 引用本文： | 武雅乔,胡明,魏杏,田玉明. 多孔硅基WO3气敏传感器的制备与性能研究[J]. 人工晶体学报, 2016, 45(7): 1865-1870 |
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| 作者姓名： | 武雅乔 胡明 魏杏 田玉明 |
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| 作者单位： | 太原科技大学材料科学与工程学院,太原,030024;天津大学电子信息工程学院,天津,300072 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(61271070) |
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| 摘 要： | 以钨酸钠和氯化钠为原料,采用水热法在硅基多孔硅上原位生长WO3纳米棒薄膜,制成p型多孔硅基-n型WO3复合结构气敏传感器.为了获得最大比表面积的复合形貌,详细研究了水热反应时间和温度对多孔硅基WO3复合结构显微组织表面形貌的影响.利用扫描电镜、粉末衍射等表征手段测试并分析了多孔硅基表面WO3纳米棒薄膜的形貌以及晶体结构,并测试了复合结构传感器在不同工作温度下的气敏响应特性,结果表明:该气敏传感器在室温下便对有毒气体NO2具有高灵敏度以及稳定的重复性.
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| 关 键 词： | NO2气敏传感器 多孔硅 复合结构, |
Study on Preparation and Properties of Porous Silicon/WO3 Gas Sensor |
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| WU Ya-qiao,HU Ming,WEI Xing,TIAN Yu-ming. Study on Preparation and Properties of Porous Silicon/WO3 Gas Sensor[J]. Journal of Synthetic Crystals, 2016, 45(7): 1865-1870 |
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| Authors: | WU Ya-qiao HU Ming WEI Xing TIAN Yu-ming |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | NO2 gas sensor porous silicon composite structure |
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