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基于纳米压痕测试的激光晶体光学加工性能研究
引用本文:陈贤华,谢瑞清,侯晶,汪圣飞,张哲,赵世杰,廖德锋. 基于纳米压痕测试的激光晶体光学加工性能研究[J]. 人工晶体学报, 2016, 45(7): 1775-1780
作者姓名:陈贤华  谢瑞清  侯晶  汪圣飞  张哲  赵世杰  廖德锋
作者单位:长春理工大学,长春130022;中国工程物理研究院激光聚变研究中心,绵阳621900;中国工程物理研究院激光聚变研究中心,绵阳,621900;哈尔滨工业大学机电工程学院,哈尔滨,150001
基金项目:中国工程物理研究院超精密加工技术重点实验室基金自主重大项目(ZZ13003)
摘    要:针对高功率固体激光器中使用的四类重要激光晶体(YAG、LBO、YCOB、KDP)元件,开展了晶体材料的光学加工性能研究.基于纳米压痕测试实验,研究了几种激光晶体材料在激光器实际使用晶向角度下的的表面力学特性差异,获得了载荷、弹性模量、压痕硬度等参数与压痕深度之间的变化规律;利用超景深显微镜及场发射扫描电镜观察了激光晶体表面的纳米压痕形貌,揭示了裂纹形貌随压力载荷的演变规律以及晶体材料力学各向异性现象.以熔石英材料为参照,从力学特性角度横向对比了几种激光晶体材料获得超光滑表面的光学加工难易程度.

关 键 词:激光晶体  光学加工  纳米压痕  力学特性,

Research on Optical Machining Performance of Laser Crystals Based on Nano-indentation Testing
CHEN Xian-hua,XIE Rui-qing,HOU Jing,WANG Sheng-fei,ZHANG Zhe,ZHAO Shi-jie,LIAO De-feng. Research on Optical Machining Performance of Laser Crystals Based on Nano-indentation Testing[J]. Journal of Synthetic Crystals, 2016, 45(7): 1775-1780
Authors:CHEN Xian-hua  XIE Rui-qing  HOU Jing  WANG Sheng-fei  ZHANG Zhe  ZHAO Shi-jie  LIAO De-feng
Abstract:
Keywords:laser crystal  optical machining  nano-indentation  mechanical property
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