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焰熔法生长金红石单晶体生长室内温度分布的数值模拟
引用本文:刘旭东,毕孝国,唐坚,蔡云平,孙旭东. 焰熔法生长金红石单晶体生长室内温度分布的数值模拟[J]. 人工晶体学报, 2016, 45(1): 138-145
作者姓名:刘旭东  毕孝国  唐坚  蔡云平  孙旭东
作者单位:沈阳工程学院能源与动力学院,沈阳,110136;东北大学材料与冶金学院,沈阳,110006
基金项目:国家自然科学基金(51472047)
摘    要:以氢气和氧气的燃烧为基础,研究了焰熔法生长金红石单晶体过程中生长室内的温度分布特征,分析了H2和O2流量对温度分布的影响.结果表明:中心轴向温度随喷嘴距离的增加而升高,在距喷嘴92 mm处达到最高温度3290.3 K后开始下降;晶体熔帽径向温度随直径的增加逐渐减小,熔帽边缘温度则急剧升高;随着H2流量增加,生长室内中心轴向和径向温度逐渐增大,H2流量增加2L/min,中心最高温度平均升高130℃,最高温度的位置向下移3.1mm,晶体熔帽表面温度平均升高70℃;增加内O2和外O2流量均导致生长室内中心轴向和径向温度降低,而使晶体熔帽上的压力升高,外O2对温度的影响较大,而内O2对晶体熔帽压力的影响较大.

关 键 词:焰熔法  金红石单晶体  生长室  温度分布,

Numerical Simulation of Temperature Distribution in Growth Chamber for Preparation of Rutile Single Crystal with Flame Fusion Method
LIU Xu-dong,BI Xiao-guo,TANG Jian,CAI Yun-ping,SUN Xu-dong. Numerical Simulation of Temperature Distribution in Growth Chamber for Preparation of Rutile Single Crystal with Flame Fusion Method[J]. Journal of Synthetic Crystals, 2016, 45(1): 138-145
Authors:LIU Xu-dong  BI Xiao-guo  TANG Jian  CAI Yun-ping  SUN Xu-dong
Abstract:
Keywords:flame fusion method  rutile single crystal  growth chamber  temperature distribution
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