| ITO/BZO复合薄膜制备及在非晶硅薄膜太阳能电池的应用 |
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| 引用本文： | 黄建华,刘怀周. ITO/BZO复合薄膜制备及在非晶硅薄膜太阳能电池的应用[J]. 人工晶体学报, 2016, 45(2): 515-519 |
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| 作者姓名： | 黄建华 刘怀周 |
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| 作者单位： | 湖南理工职业技术学院太阳能工程系,湘潭,411104;湖南共创光伏科技有限公司,衡阳,421001 |
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| 基金项目： | 2014年教育厅科学研究项目(14C0534) |
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| 摘 要： | 采用低压化学气相沉积(LPCVD)法在沉积ITO薄膜的玻璃衬底上制备了硼掺杂氧化锌(BZO)薄膜,研究了ITO缓冲层对ITO/BZO复合薄膜表观形貌、导电性能和光学性能的影响;并研究了ITO/BZO薄膜在非晶硅薄膜太阳能电池的应用.结果表明,以ITO作为缓冲层来沉积BZO薄膜,有利于BZO晶粒尺寸的长大,并可以显著提高BZO薄膜的导电能力.ITO/BZO复合薄膜具有相对较高的导电能力和光学透光率,应用在非晶硅薄膜太阳能电池时转化效率提高0.20;.
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| 关 键 词： | 透明导电氧化物 硼掺杂氧化锌 复合薄膜 低压化学沉积 非晶硅薄膜太阳能电池, |
Fabrication of ITO/BZO Composite Thin Film and Application to Amorphous Silicon Thin Film Solar Cells |
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| HUANG Jian-hua,LIU Huai-zhou. Fabrication of ITO/BZO Composite Thin Film and Application to Amorphous Silicon Thin Film Solar Cells[J]. Journal of Synthetic Crystals, 2016, 45(2): 515-519 |
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| Authors: | HUANG Jian-hua LIU Huai-zhou |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | transparent conductive oxide boron-doped zinc oxide composite thin film low pressure chemical vapor deposition amorphous silicon thin film solar cell |
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