| SPDT加工对KDP晶体表面温度及应力的影响 |
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| 引用本文： | 杨萍,张晨贵,梁莹林,刘有海,阳红,张连新,栾春红,姜晶,王超.SPDT加工对KDP晶体表面温度及应力的影响[J].人工晶体学报,2016,45(4):896-900. |
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| 作者姓名： | 杨萍 张晨贵 梁莹林 刘有海 阳红 张连新 栾春红 姜晶 王超 |
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| 作者单位： | 电子科技大学微电子与固体电子学院,成都,611731;中国工程物理研究院机械制造工艺研究所,绵阳,621900 |
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| 基金项目： | 中国工程物理研究院超精密加工技术重点实验室开放基金课题(KF14008)，电子科技大学中央高校基本科研业务费(A03010023801115)，四川省科技计划支撑项目(M110238012014GZ0151) |
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| 摘 要： | KDP晶体作为优质的非线性光学材料,具有脆性高、对温度敏感等特性,在单点金刚石切削(SPDT)超精密加工中,微小的温度和应力变化有可能对晶体造成损伤,但是一直未有相关实验报道.本文采用红外热成像仪对SPDT加工过程进行监测,结合Raman光谱技术,研究KDP晶体在SPDT加工前后表面温度和应力的分布变化.大尺寸KDP晶体经过快速微区切削后,在给定的切削工艺条件下,测量出切削部分最高瞬态温度比附近未切削部分高出将近8℃.通过Raman测量,显示切削后晶体表面存在残余拉应力.结合热力耦合模拟仿真,进一步分析了SPDT加工过程动态切削温度对晶体质量的影响,为优化加工参数提供依据.
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| 关 键 词： | KDP晶体 温度原位测量 Raman光谱 模拟仿真 |
Effect of the SPDT on Surface Temperature and Stress of KDP Crystal |
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| Keywords: | KDP crystal in situ temperature measurement Raman spectrum simulation |
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