| 大面积金刚石薄膜沉积系统的研究 |
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| 引用本文： | 陈琦,常明,曲长庆,陈发亮,沈锋英.大面积金刚石薄膜沉积系统的研究[J].天津理工大学学报,2008,24(1):21-23. |
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| 作者姓名： | 陈琦 常明 曲长庆 陈发亮 沈锋英 |
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| 作者单位： | 天津理工大学,电子信息与通信工程学院,天津,300191 |
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| 基金项目： | 天津重点科技攻关专项项目(06YFGZSH00300) |
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| 摘 要： | 介绍热丝化学气相沉积(HFCVD)法沉积大面积金刚石膜的设备的原理和设计,设备主要包括真空系统、水冷系统、热丝架、供气系统以及电路系统,给出了该设备的性能指标参数.该设备可以用于沉积高质量的大面积金刚石膜,沉积的金刚石薄厚膜直径最大可达220 mm,膜沉积速率为1~2μm/h.
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| 关 键 词： | 金刚石膜 大面积 HFCVD 系统设计 热丝架 |
| 文章编号： | 1673-095X(2008)01-0021-03 |
| 修稿时间： | 2007年9月14日 |
Study on equipment for large area diamond thin film deposition |
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| CHEN Qi,CHANG Ming,QU Chang-qing,CHEN Fa-liang,SHEN Feng-ying.Study on equipment for large area diamond thin film deposition[J].Journal of Tianjin University of Technology,2008,24(1):21-23. |
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| Authors: | CHEN Qi CHANG Ming QU Chang-qing CHEN Fa-liang SHEN Feng-ying |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | diamond film large area HFCVD the design of system hot-filament device |
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