材料的微细加工技术研究

在微传感器、执行器、集成光学器件、高分辨探测器等的研究中，材料的非机械微细加工技术是一种必不可少的成型技术。通过相关课题的研究，开展了反应离子刻蚀技术和聚焦离子束精密加工技术研究，进行了金刚石薄膜等材料的微细加工技术实验研究，掌握了基本的实验流程和实验技能。