材料的微细加工技术研究 |
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引用本文: | 张继成.材料的微细加工技术研究[J].工程物理研究院科技年报,2009(1):33-34. |
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作者姓名: | 张继成 |
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摘 要: | 在微传感器、执行器、集成光学器件、高分辨探测器等的研究中,材料的非机械微细加工技术是一种必不可少的成型技术。通过相关课题的研究,开展了反应离子刻蚀技术和聚焦离子束精密加工技术研究,进行了金刚石薄膜等材料的微细加工技术实验研究,掌握了基本的实验流程和实验技能。
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关 键 词: | 微细加工技术 材料 集成光学器件 精密加工技术 实验技能 聚焦离子束 金刚石薄膜 微传感器 |
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