| 衬底层对Fe65Co35合金薄膜结构与磁性的影响 |
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| 引用本文： | 韩泽宇,宋乘吉,周杰,郑富.衬底层对Fe65Co35合金薄膜结构与磁性的影响[J].物理学报,2022(15):245-253. |
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| 作者姓名： | 韩泽宇 宋乘吉 周杰 郑富 |
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| 作者单位： | 宁夏大学物理与电子电气工程学院 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(批准号:11964027)资助的课题~~； |
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| 摘 要： | 采用磁控溅射法制备了具有不同衬底层(Cu, Co和Ni80Fe20)的FeFe65Co35双层合金薄膜.研究了不同衬底材料以及NiFe衬底层厚度对FeCo合金薄膜结构与磁性的影响.研究结果表明:衬底层的引入可以增加薄膜的面内单轴各向异性,且薄膜的软磁性能显著提升,获得良好软磁性的原因归结为晶粒的细化、层间的偶极相互作用以及表面粗糙度的降低,并且对于相同厚度的不同衬底层, NiFe衬底层对FeCo薄膜软磁性能的提升最为明显;通过改变NiFe衬底层厚度,实现了对薄膜各向异性的调控, NiFe/FeCo表现出良好的高频响应和低的阻尼系数,同时较小的薄膜厚度能够减小涡流损耗,因此,促进了其在高频微波磁性器件方面的应用.
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| 关 键 词： | FeCo合金薄膜 衬底层 软磁性能 高频特性 |
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