导电和绝缘准氧化锌（ZnO）生长衬底

准氧化锌衬底是氧化锌基LED和氮化镓基LED的衬底，也是蓝宝石和SiC衬底的很好的替代品。准氧化锌衬底具有下述特点：面积大、导热性好、导电性好（导电衬底）、成本低、用于生产垂直结构LED时，不需要剥离生长衬底。导电和绝缘准氧化锌衬底的结构如下：导电或绝缘氧化锌层分别层叠在导电或绝缘硅晶片上；中间媒介层层叠在氧化锌层和硅晶片之间。