| 蓝宝石衬底SnO2:Sb薄膜的制备及结构和光致发光性质 |
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| 引用本文： | 冯先进,马 瑾,葛松华,计 峰,王永利,杨 帆,马洪磊.蓝宝石衬底SnO2:Sb薄膜的制备及结构和光致发光性质[J].物理学报,2007,56(8):4872-4876. |
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| 作者姓名： | 冯先进 马 瑾 葛松华 计 峰 王永利 杨 帆 马洪磊 |
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| 作者单位： | 山东大学物理与微电子学院，济南 250100;山东大学物理与微电子学院，济南 250100;青岛科技大学物理系，青岛 266061;山东大学物理与微电子学院，济南 250100;山东大学物理与微电子学院，济南 250100;山东大学物理与微电子学院，济南 250100;山东大学物理与微电子学院，济南 250100 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(批准号：90401004)资助的课题. |
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| 摘 要： | 用射频磁控溅射法在蓝宝石(0001)衬底上制备出锑掺杂的氧化锡(SnO2:Sb)薄膜.对制备薄膜的结构和发光性质进行了研究.制备样品为多晶薄膜，具有纯SnO2的四方金红石结构.室温条件下对样品进行光致发光测量，在334 nm附近观测到紫外发射峰，并对SnO2:Sb的光致发光机制进行了研究.
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| 关 键 词： | SnO2:Sb薄膜， 射频磁控溅射， 光致发光 |
| 文章编号： | 1000-3290/2007/56(08)/4872-05 |
| 收稿时间： | 6/9/2006 12:00:00 AM |
| 修稿时间： | 3/7/2007 12:00:00 AM |
Structural and photoluminescence properties for SnO2:Sb films prepared on Al2O3 substrate |
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| Feng Xian-Jin,Ma Jin,Ge Song-Hu,Ji Feng,Wang Yong-Li,Yang Fan and Ma Hong-Lei.Structural and photoluminescence properties for SnO2:Sb films prepared on Al2O3 substrate[J].Acta Physica Sinica,2007,56(8):4872-4876. |
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| Authors: | Feng Xian-Jin Ma Jin Ge Song-Hu Ji Feng Wang Yong-Li Yang Fan and Ma Hong-Lei |
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| Institution: | 1. School of Physics and Microelectronics, Shandong University, Jinan 250100, China;2.Department of Physics , Qingdao University of Science and Technology , Qingdao 266061, China |
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| Abstract: | The SnO2:Sb films have been prepared on sapphire (0001) substrates by radio frequency magnetron sputtering method. The structural and photoluminescence (PL) properties of the films were investigated. The prepared samples are polycrystalline films with rutile structure of pure SnO2. The photoluminescence of the samples was measured at room temperature. An ultraviolet luminescence peak near 334 nm was observed for the first time and the corresponding PL mechanism was investigated. |
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| Keywords: | SnO2:Sb thin films radio frequency magnetron sputtering photoluminescence |
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