|
|||||
|
|
| MOCVD原位监测系统的设计与实现 | |
| 作者姓名： | 徐龙权 许冬 刘新卫 方颂 |
| 作者单位： | 南昌大学国家硅基LED工程技术研究中心;南昌大学信息工程学院 |
| 摘 要： | 设计以TSMF32028335和AD7656为核心的数据采集与处理系统,采用以太网芯片W5300实现开发板与上位机的TCP/IP通信.作为监控端的上位机,采用通过Delphi开发的集数据处理、存储、显示与监控于一体的平台,且具有良好的人机交互界面.应用于自主研发的金属有机化合物化学气相沉积(MOCVD)设备,测试结果表明:该设计具有采集数据准确、通信快速稳定、人机界面友好、程序运行流畅的特点,完全符合工程控制要求. |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |