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多芯片组件光互连的实现途径
引用本文:祖继锋,余宽豪.多芯片组件光互连的实现途径[J].半导体技术,1996(5):35-38.
作者姓名:祖继锋  余宽豪
作者单位:辽宁师范大学,上海冶金研究所微电子学分部
摘    要:着重讨论光互连技术在多芯片组件中的潜在应用。分析结果表明光互连技术在多芯片组件中应用应包括:组件的输入、输出、时钟分布以及内部芯片间互连等。

关 键 词:光互连  多芯片组件  MCM  制造工艺
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