| 飞秒激光刻蚀石英工艺研究 |
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| 引用本文： | 何魁魁,周广福,戴玉堂.飞秒激光刻蚀石英工艺研究[J].激光与红外,2022,52(12):1768-1773. |
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| 作者姓名： | 何魁魁 周广福 戴玉堂 |
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| 作者单位： | 1.武汉理工大学 光纤传感技术国家工程实验室,湖北 武汉 430070；2.歌尔股份有限公司,山东 潍坊 261031 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金项目(No.51975442)资助。 |
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| 摘 要： | 为了探究石英晶体飞秒激光刻蚀工艺,本文使用波长为1030nm、重复频率20kHz、脉冲宽度290 fs的飞秒激光系统研究了飞秒激光参数、定焦点与变焦点扫描以及飞秒激光裂片技术对刻蚀石英材料的影响。首先研究了飞秒激光扫描次数、扫描速度及离焦量对刻蚀石英微槽的影响规律。其次对比分析了定焦点扫描与变焦点扫描对微槽形貌的影响,最后研究了飞秒激光裂片石英材料技术。研究表明,在激光单脉冲能量为60 μJ,扫描速度4mm/s,扫描次数为50条件下获得槽宽为32μm,深宽比达22的石英微槽；相较于定焦点扫描,变焦点扫描时微槽侧壁趋近于直壁状态,微槽壁面角从56°降低至34°；当扫描次数增加到一定程度时会在微槽底部诱导裂纹的产生,微裂纹进一步扩展形成切面,裂纹扩展区切面质量明显高于飞秒激光烧蚀区。
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| 关 键 词： | 飞秒激光 微加工工艺 石英晶片 飞秒激光裂片 变焦点扫描 |
Study on femtosecond laser etching of quartz |
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| HE Kui-kui,ZHOU Guang-fu,DAI Yu-tang.Study on femtosecond laser etching of quartz[J].Laser & Infrared,2022,52(12):1768-1773. |
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| Authors: | HE Kui-kui ZHOU Guang-fu DAI Yu-tang |
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