| 恒流应力下E2PROM隧道氧化层的退化特性研究 |
| |
| 引用本文： | 李蕾蕾,刘红侠,于宗光,郝跃.恒流应力下E2PROM隧道氧化层的退化特性研究[J].物理学报,2006,55(5). |
| |
| 作者姓名： | 李蕾蕾 刘红侠 于宗光 郝跃 |
| |
| 基金项目： | 国家科技攻关项目;中国科学院资助项目 |
| |
| 摘 要： | 在电容测量的基础上研究了薄隧道氧化层在恒定Fowler-Nordheim(F-N)隧穿电流下的退化情况.这种退化是恒流应力和时间的函数,对恒流应力大小的依赖性更加强烈,隧道氧化层在F-N电流下的退化是注入电荷密度(Qinj)的函数.在较低Qinj下氧化层中发生正电荷俘获,在较高Qinj下发生负电荷俘获,导致栅压变化的反复.
|
| 关 键 词： | 隧道氧化层 退化 恒流应力 |
Degradation of tunnel oxide in E2PROM under constant current stress |
| |
| Li Lei-Lei,Liu Hong-Xia,Yu Zong-Guang,Hao Yue.Degradation of tunnel oxide in E2PROM under constant current stress[J].Acta Physica Sinica,2006,55(5). |
| |
| Authors: | Li Lei-Lei Liu Hong-Xia Yu Zong-Guang Hao Yue |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | E2PROM |
| 本文献已被 万方数据 等数据库收录！ |
| 点击此处可从《物理学报》浏览原始摘要信息 |
| 点击此处可从《物理学报》下载免费的PDF全文 |
|
