| ZnO 薄膜集成加速度传感器 |
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| 引用本文： | 张家跃. ZnO 薄膜集成加速度传感器[J]. 中国惯性技术学报, 1997, 0(2) |
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| 作者姓名： | 张家跃 |
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| 作者单位： | 北京理工大学 |
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| 摘 要： | 本文讨论了一种集成化的悬臂梁ＺｎＯ薄膜及超高输入阻抗运算放大器为基本组成部分的加速度传感器
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| 关 键 词： | 加速度传感器 传感材料 ZnO薄膜 超精细加工 |
Integrated Accelerometer with ZnO Films |
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| Zhang Jiayao. Integrated Accelerometer with ZnO Films[J]. Journal of Chinese Inertial Technology, 1997, 0(2) |
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| Authors: | Zhang Jiayao |
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| Affiliation: | Beijing Institute of Technology |
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| Abstract: | An intgrated Sibeam accelerometer with ZnO films and arithmetic amplifer has been discussed in the paper. |
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| Keywords: | accelerometer sensing material ZnO films supermeticulous machining |
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