微型瞬态薄膜热流计的研制 |
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作者姓名: | 杨素君 肖劲松 马重芳 |
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作者单位: | [1]北京航科集团五院专业技术部 [2]北京工业大学环境与能源工程学院 [3]北京工业大学环境与能源工程学院 北京 |
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摘 要: | 本文开发研制了一种薄膜热流计,该薄膜热流计以石英玻璃为基片,由一层热阻层和一个差分热电堆组成。差分热电堆由28对分布在热阻层两侧的热电偶构成。本文对该薄膜热流计进行了标定,并测试了该热流计的稳态和瞬态响应。在稳态测试中,得出该热流计加热过程中的时间常数是 90S。利用一个全反射的卤素灯和一个光源切割轮测试该热流计的瞬态响应,发现该薄膜热流计能够跟踪信号的最高频率为330HZ。
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关 键 词: | 薄膜 热流计 瞬态 标定 |
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