基于碳纳米管的纳米连接技术的研究进展 |
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作者姓名: | 刘璇 刘泽 孙璞 吴莹 王亚荣 |
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作者单位: | 上海海洋大学工程学院; |
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基金项目: | 国家自然科学基金(No.51005145),上海市教委创新项目(No.12ZZ163),国家教育部重点项目(No.212056) |
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摘 要: | 纳米连接技术是构筑纳电子器件的关键技术。但鉴于目前纳米连接机理不甚明确、纳米连接技术不甚成熟,阻碍了纳电子器件的进一步研制和应用。因此如何形成碳纳米管与金属电极间可靠、稳定、有效的互连已成为该领域的研究难点和热点。本文综述了近年来改善纳米连接性能的多种方法,并对其原理和特点进行了分析和比较。最后,对该领域未来发展的趋势进行了展望。
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关 键 词: | 碳纳米管 纳米连接机理 纳电子器件 纳米连接性能 |
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