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| 激光原子力显微镜及其对光学表面粗糙度的研究 | |
| 引用本文： | 钱建强,于劲.激光原子力显微镜及其对光学表面粗糙度的研究[J].电子显微学报,1993,12(2):200-200. |
| 作者姓名： | 钱建强 于劲 |
| 作者单位： | 中国科学院北京电子显微镜实验室，中国科学院长春光机所应用光学国家重点实验室，中国科学院北京电子显微镜实验室，中国科学院北京电子显微镜实验室 |
| 摘 要： | 自一九八五年,Binnig与斯坦福大学的Quate和IBM公司苏黎士实验室的Christoph合作推出了世界上第一台原子力显微镜(简称AFM)以来,AFM的研究及应用迅速扩展。它不仅象扫描隧道显微镜那样能从原子尺度上对导体、半导体表面而且还能对非导体的表面进行成像,拓宽了STM的应用范围。 |
| 关 键 词： | 激光 原子力显微镜 光学原件 粗糙度 |
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