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| 磁控溅射锆钒合金膜 | |
| 作者姓名： | 梁建华 赵鹏冀 郝万立 施立群 |
| 摘 要： | 蒸发成膜合金中的各成分蒸发速率为GA=7．714XAPA（MA／T）^1/2，G4为合金中A成分的蒸发速率，g／cm^2．s；局为合金中A成分的摩尔分数；n为4物质的纯蒸气压，Pa；心为4物质的分子量；T为温度，K。 |
| 关 键 词： | 合金膜 磁控溅射 蒸发速率 摩尔分数 钒 锆 成分 蒸气压 |
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