首页
|
本学科首页
官方微博
|
高级检索
全部学科
医药、卫生
生物科学
工业技术
交通运输
航空、航天
环境科学、安全科学
自然科学总论
数理科学和化学
天文学、地球科学
农业科学
哲学、宗教
社会科学总论
政治、法律
军事
经济
历史、地理
语言、文字
文学
艺术
文化、科学、教育、体育
马列毛邓
全部专业
中文标题
英文标题
中文关键词
英文关键词
中文摘要
英文摘要
作者中文名
作者英文名
单位中文名
单位英文名
基金中文名
基金英文名
杂志中文名
杂志英文名
栏目中文名
栏目英文名
DOI
责任编辑
分类号
杂志ISSN号
磁控溅射锆钒合金膜
作者姓名:
梁建华 赵鹏冀 郝万立 施立群
摘 要:
蒸发成膜合金中的各成分蒸发速率为GA=7.714XAPA(MA/T)^1/2,G4为合金中A成分的蒸发速率,g/cm^2.s;局为合金中A成分的摩尔分数;n为4物质的纯蒸气压,Pa;心为4物质的分子量;T为温度,K。
关 键 词:
合金膜 磁控溅射 蒸发速率 摩尔分数 钒 锆 成分 蒸气压
本文献已被
维普
等数据库收录!
设为首页
|
免责声明
|
关于勤云
|
加入收藏
Copyright
©
北京勤云科技发展有限公司
京ICP备09084417号