磁控溅射锆钒合金膜 |
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引用本文: | 梁建华,赵鹏冀,郝万立,施立群.磁控溅射锆钒合金膜[J].工程物理研究院科技年报,2004(1):423-423. |
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作者姓名: | 梁建华 赵鹏冀 郝万立 施立群 |
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摘 要: | 蒸发成膜合金中的各成分蒸发速率为GA=7.714XAPA(MA/T)^1/2,G4为合金中A成分的蒸发速率,g/cm^2.s;局为合金中A成分的摩尔分数;n为4物质的纯蒸气压,Pa;心为4物质的分子量;T为温度,K。
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关 键 词: | 合金膜 磁控溅射 蒸发速率 摩尔分数 钒 锆 成分 蒸气压 |
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