| 基于紫外厚胶的探针加工工艺 |
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| 引用本文： | 王伟,张斌珍,贾志浩,段俊萍,崔建利,赵龙.基于紫外厚胶的探针加工工艺[J].微纳电子技术,2015(4):256-260. |
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| 作者姓名： | 王伟 张斌珍 贾志浩 段俊萍 崔建利 赵龙 |
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| 作者单位： | 中北大学电子测试技术重点实验室;中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(61401405,51475438);山西省基础研究资助项目(2014011021-4);新世纪优秀人才支持计划资助项目(130951862) |
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| 摘 要： | 研究了一种基于紫外厚胶SU-8的亚毫米探针的加工工艺,通过溶液间的界面张力形成微球,再由深紫外光刻形成微柱。这种新技术利用紫外LIGA技术替代较为复杂昂贵的深反应离子刻蚀(DRIE)技术,使用甘油补偿紫外胶与空气之间的折射率差,使紫外光透过微球后依然可以曝光厚达几百微米SU-8胶形成微柱,并且提出原位放大接触点的对准方法,实现了微球与微柱的同轴。最终实现高深宽比的探针结构,可以作为关键部件应用于三坐标测量机。由于此工艺与传感器工艺相容,探针可以直接制作在集成了传感器的测头基底上,大幅减少了装配误差。
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| 关 键 词： | 微机电系统(MEMS) SU-8胶 探针 坐标测量机 折射率补偿 |
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