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| 金属剥离技术在声表面波滤波器中应用研究 | |
| 引用本文： | 程知群,毛友德.金属剥离技术在声表面波滤波器中应用研究[J].上海微电子技术和应用,1998(2):20-23. |
| 作者姓名： | 程知群 毛友德 |
| 作者单位： | [1]中国科学院上海冶金研究所 [2]合肥工业大学 |
| 摘 要： | 本文采用金属剥离技术在ＬｉＮｂＯ３基片上成功地制备了１４０ＭＨｚ声表面波带通滤波器。通过选择最佳工艺参数，提高了声表面波滤波器的性能。 |
| 关 键 词： | 金属剥离技术 声表面波 滤波器 |
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