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电感耦合等离子体原子发射光谱法同时测定纯硼等13个杂质元素
引用本文:宋武元,张桂广,郑建国.电感耦合等离子体原子发射光谱法同时测定纯硼等13个杂质元素[J].理化检验(化学分册),2005,41(11):806-808,811.
作者姓名:宋武元  张桂广  郑建国
作者单位:1. 广州出入境检验检疫局,化矿金检测中心,广州,510623
2. 广东省韶关出入境检验检疫局,韶关,512023
摘    要:研究了纯硅中微量和痕量杂质元素铝、钙、铁、锰、磷、铬、铜、镍、钛、钒、锆、砷和硼等电感耦合等离子体原子发射光谱(ICP—AES)的同时测定方法,样品以硝酸、盐酸和氢氟酸挥硅处理方法,在样品处理过程中,加入适量的甘露醇能够抑制硼的挥发。在优化选定的仪器条件和介质中测定纯硅样品和纯硅标准样品。纯硅样品中13个杂质元素的回收率均在92.0%~105.09/6之间,相对标准偏差均小于5.0%。

关 键 词:ICP-AES  纯硅  13种杂质元素
文章编号:1001-4020(2005)11-0806-03
收稿时间:2005-06-30
修稿时间:2005-06-30

ICP-AES DETERMINATION OF 13 IMPURITY ELEMENTS IN PURE SILICON
SONG Wu-yuan,ZHANG Gui-guang,ZHENG Jian-guo.ICP-AES DETERMINATION OF 13 IMPURITY ELEMENTS IN PURE SILICON[J].Physical Testing and Chemical Analysis Part B:Chemical Analgsis,2005,41(11):806-808,811.
Authors:SONG Wu-yuan  ZHANG Gui-guang  ZHENG Jian-guo
Institution:1. Guangzhou Entry-Exit Inspection and Quarantine Bureau,Guangzhou 510623, China; 2. Shaoguan Entry-Exit Inspection and Quarantine Bureau, Shaoguan 512023, China
Abstract:
Keywords:ICP-AES  13 Impurity elements  Pure silicon
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