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无线通信领域MEMS器件的研究进展
引用本文:章彬,黄庆安. 无线通信领域MEMS器件的研究进展[J]. 微电子学, 2001, 31(3): 198-203
作者姓名:章彬  黄庆安
作者单位:东南大学 微电子中心,
摘    要:无线通信技术的发展对系统小型化提出了要求,用IC技术制造的电路无源器件的性能无法满足要求,利用MEMS技术不仅能将器件小型化,与,电路集成实现单片化,并且器件性能也能达到要求。近年来,用MEMS技术制作电容、电感、开关以及谐振器等无源器件成为MEMS的又一个新的研究领域。文章简单介绍了无线通信领域MEMS器件的研究进展。

关 键 词:微机电系统 射频集电电路 无线通信 无源元件
文章编号:1004-3365(2001)03-0198-06
修稿时间:2000-11-29

Progresses in the Research of MEMS Devices for Wireless Communication
WTBZ]ZHANG Bin,HUANG Qing an [WTBX]. Progresses in the Research of MEMS Devices for Wireless Communication[J]. Microelectronics, 2001, 31(3): 198-203
Authors:WTBZ]ZHANG Bin  HUANG Qing an [WTBX]
Affiliation:WT5BZ]ZHANG Bin,HUANG Qing an [WT6BX]
Abstract:
Keywords:Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)  Radio frequency IC  Wireless communication  Passive devices
本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录!
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