| LaAlO_3衬底上磁控溅射的大面积YBa_2Cu_3O_（7－x）薄膜微观组织 |
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| 引用本文： | 王瑞坤,王小平,杨秉川,刘安生,袁冠森.LaAlO_3衬底上磁控溅射的大面积YBa_2Cu_3O_（7－x）薄膜微观组织[J].中国稀土学报,1996(3). |
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| 作者姓名： | 王瑞坤 王小平 杨秉川 刘安生 袁冠森 |
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| 作者单位： | 北京有色金属研究总院 |
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| 基金项目： | 国家超导研究和开发中心资助 |
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| 摘 要： | 用分析电镜和高分辨电镜对在３０ｍｍ×３０ｍｍＬａＡｌＯ３衬底上，采用中空柱状阴极直流磁控溅射的高ＪｃＹＢａ２Ｃｕ３Ｏ７－ｘ（ＹＢＣＯ）薄膜的微观组织结构进行了研究。薄膜为ｃ轴取向ＹＢＣＯ，含有少量Ｙ２ＢａＣｕＯ５颗粒和纺锤状Ｙ２Ｏ３。膜内主要晶体缺陷为［００１］刃位错和螺位错、堆垛层错、（００１）晶面弯曲带、小于１５ｎｍ的晶格畸变区和阳离子空位。ＬａＡｌＯ３衬底表面呈阶梯状并有小坑。衬底表面第一层膜原子为ＣｕＯ和ＣｕＯ２层，以致在界面形成ＢａＣｕＯ２和ＹａＢａＣｕ２Ｏ５相。ＬａＡｌＯ３衬底表层有较多位错，对薄膜外延生长和缺陷的形成有明显影响。
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| 关 键 词： | TBa_2Cu_3O_（7－x），薄膜，微观组织结构，界面，缺陷 |
Study on Microstructure of Large Area YBa_2Cu_3O_(7-x) Thin Film Magnetron-Sputtered on LaAlO_3 Substrate |
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| Wang Ruikun, Wang Xiaoping, Yang Bingchuan, Liu Ansheng, Yuan Guansen.Study on Microstructure of Large Area YBa_2Cu_3O_(7-x) Thin Film Magnetron-Sputtered on LaAlO_3 Substrate[J].Journal of the Chinese Rare Earth Society,1996(3). |
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| Authors: | Wang Ruikun Wang Xiaoping Yang Bingchuan Liu Ansheng Yuan Guansen |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Yba_2CuO_3O_(7-x) Thin film Microstructure Interface Defect |
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