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| 实用准分子激光器研制成功 | |
| 作者姓名： | 群蒞 |
| 摘 要： | 上海光机所准分子激光组在实验性器件的基础上经过近三年的改进,研制成实用型准分子激光器.单脉冲输出能量280mJ,波长3080(?).重复率0～10Hz可调,平均输出功率1W,一次充气寿命超过10~5次.更换气体器件可运转在ArF(1930(?)),KrF(2490(?)),N_2(3371(?)),XeF(3511(?))等波段.此器件还具有结构简单、性能可靠、可长期运转等优点. |
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