| 超光滑硅柱面反射镜的加工和检测 |
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| 引用本文： | 孙侠菲,余景池,丁泽钊,郭培基. 超光滑硅柱面反射镜的加工和检测[J]. 光学技术, 2001, 27(6): 497-498 |
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| 作者姓名： | 孙侠菲 余景池 丁泽钊 郭培基 |
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| 作者单位： | 苏州大学现代光学技术省重点实验室 江苏苏州215006(孙侠菲，余景池，丁泽钊)，苏州大学现代光学技术省重点实验室 江苏苏州215006(郭培基) |
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| 摘 要： | 介绍了超光滑硅柱面反射镜的加工过程、工艺控制及检测方法。给出了由超光滑硅柱面反射镜组成的准直扩束系统的出射波面的检测结果。
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| 关 键 词： | 超光滑 柱面反射镜 加工 检测 |
| 文章编号： | 1002-1582(2001)06-0497-02 |
| 修稿时间： | 2001-05-28 |
Fabrication and testing of the super-smooth silicon cylindrical mirror |
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| SHUN Xia-fei,YU Jing-chi,DING Zhe-zao,GUO Pei-ji. Fabrication and testing of the super-smooth silicon cylindrical mirror[J]. Optical Technique, 2001, 27(6): 497-498 |
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| Authors: | SHUN Xia-fei YU Jing-chi DING Zhe-zao GUO Pei-ji |
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| Abstract: | Fabrication process, technology and testing methods of the super-smooth Silicon cylindrical mirror are mentioned in this paper. Also some testing results of a collimating beam expanding system, which is combined with two super-smooth Silicon cylindrical mirrors, are given. |
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| Keywords: | super-smooth cylindrical mirror fabrication and testing |
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