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杂志ISSN号
300nm×300mm口径电光开关等离子体电极实验研究
作者姓名:
吕传信 鲁敬平
摘 要:
设计并实验了300mm×300mm口径的辉光放电室,利用钮扣阴极和自动预电离条形阴极进行实验,获得了大面积均匀的辉光放电。测量了不同状态下辉光放电的放电延时及等离子电阻。得到了产生大面积均匀辉光放电的最佳条件。
关 键 词:
辉光放电 等离子体电极 电光开关 激光器 大口径
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