| 聚焦离子束加工技术及其应用 |
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| 引用本文： | 马向国,顾文琪.聚焦离子束加工技术及其应用[J].微纳电子技术,2005,42(12):575-578. |
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| 作者姓名： | 马向国 顾文琪 |
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| 作者单位： | 1. 中国科学院电工研究所,北京,100080;中国科学院研究生院,北京,100039
2. 中国科学院电工研究所,北京,100080 |
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| 摘 要： | 对聚焦离子束加工技术在集成电路芯片的诊断与修改、修复光刻掩模缺陷、制作透射电镜样品以及多用途微切割上的应用作了详细介绍。
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| 关 键 词： | 聚焦离子束 液态金属离子源 应用 |
| 文章编号： | 1671-4776(2005)12-0575-03 |
| 修稿时间： | 2005年8月26日 |
Nanofabrication and Applications of Focused Ion Beam Technology |
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| MA Xiang-guo,GU Wen-qi.Nanofabrication and Applications of Focused Ion Beam Technology[J].Micronanoelectronic Technology,2005,42(12):575-578. |
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| Authors: | MA Xiang-guo GU Wen-qi |
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| Institution: | MA Xiang-guo1,2,GU Wen-qi1 |
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| Abstract: | The applications of focused ion beam technology,for example,diagnose and modification of IC CMOS chip,repair of mask defect,making samples of TEM,multi-useful tool for tiny cut and so on,were introduced in details. |
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| Keywords: | focused ion beam(FIB) liquid metal ion source application |
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