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光学材料微缺陷引起的损伤机理及后处理
作者姓名:柴立群 许乔 胡建平 周礼书 王毅 石琦凯
摘    要:采用时域有限差分方法(FDTD)进行元件表面微结构电磁场分布的数值模拟;同时实验分析了化学湿法刻蚀对光学元件表面面形及粗糙度、激光损伤阈值等的影响。

关 键 词:损伤机理 光学材料 后处理 微缺陷 时域有限差分方法 激光损伤阈值 光学元件 电磁场分布
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