| 铝镁尖晶石中He离子注入引起损伤的退火行为研究 |
| |
| 引用本文： | Yang Yi-Tao,张崇宏,Zhou Li-Hong,李炳生.铝镁尖晶石中He离子注入引起损伤的退火行为研究[J].物理学报,2008,57(8):5165-5169. |
| |
| 作者姓名： | Yang Yi-Tao 张崇宏 Zhou Li-Hong 李炳生 |
| |
| 作者单位： | (1)中国科学院近代物理研究所，兰州 730000; (2)中国科学院近代物理研究所，兰州 730000；中国科学院研究生院，北京 100049 |
| |
| 基金项目： | 国家自然科学基金(批准号：10575124)和重离子物理教育部重点实验室开放基金资助的课题. |
| |
| 摘 要： | 利用卢瑟福沟道背散射技术结合表面的原子力显微分析，对注He的铝镁尖晶石晶体的晶格损伤及表面形变随退火温度变化的关系进行了研究.结果表明，不同注入剂量的样品中晶格损伤和表面形变表现出显著不同的退火行为.分析认为造成损伤演化的这种差异与注入的He原子在晶体中不同的聚集状态有关.
关键词：
离子注入
He
尖晶石
卢瑟福沟道背散射
|
| 关 键 词： | 离子注入 He 尖晶石 卢瑟福沟道背散射 |
| 收稿时间： | 2007-09-30 |
A study of damage evolution during annealing of helium-implanted magnesium-aluminate spinel |
| |
| Yang Yi-Tao,Zhang Chong-Hong,Zhou Li-Hong,Li Bing-Sheng.A study of damage evolution during annealing of helium-implanted magnesium-aluminate spinel[J].Acta Physica Sinica,2008,57(8):5165-5169. |
| |
| Authors: | Yang Yi-Tao Zhang Chong-Hong Zhou Li-Hong Li Bing-Sheng |
| |
| Abstract: | Evolution of damage in single-crystalline magnesium-aluminate spinel implanted with helium ions was studied using Rutherford backscattering technique in channeling geometry combined with surface investigation by atomic force microscopy. It was found that the damage induced by helium-ion implantation in the crystal showed significantly different annealing behavior depending on the implantation fluence. The difference in annealing behavior is ascribed to the strong dose dependence of clustering/resolution of helium atoms. |
| |
| Keywords: | implantation He spinel Rutherford backscattering in channeling geometry |
| 本文献已被 万方数据 等数据库收录！ |
| 点击此处可从《物理学报》浏览原始摘要信息 |
| 点击此处可从《物理学报》下载免费的PDF全文 |
