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提高Spindt型场发射冷阴极阵列发射均匀性的方法
引用本文:
张友渝,江泽流,宗婉华,王文喜,张大立,王民娟.提高Spindt型场发射冷阴极阵列发射均匀性的方法[J].半导体学报,1998,19(6):431-436.
作者姓名:
张友渝
江泽流
宗婉华
王文喜
张大立
王民娟
作者单位:
河北半导体研究所
摘 要:
本文提出采用栅孔直径整匀法以及改进的纵向高阻Si镇流电阻法,提高了Spindt型场发射冷阴极阵列的发射均匀性
关 键 词:
FEA
冷阴极
Spindt型
发射均匀性
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