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硅纳米线的制备及应用研究进展
引用本文:胡德巍,唐安江,唐石云,韦德举,田合鑫. 硅纳米线的制备及应用研究进展[J]. 人工晶体学报, 2020, 49(9): 1743-1751
作者姓名:胡德巍  唐安江  唐石云  韦德举  田合鑫
作者单位:贵州大学化学与化工学院,贵阳 550025;贵州大学化学与化工学院,贵阳 550025;贵州理工学院化学工程学院,贵阳 550003;贵州理工学院化学工程学院,贵阳 550003
基金项目:国家自然科学基金(2176060184)
摘    要:介绍了硅纳米线在制备技术方面的最新进展,综述了硅纳米线两种不同的生长模式("自上而下"和"自下而上"),以及在两种生长模式下硅纳米线的制备方法,即化学气相沉积、分子束外延、激光烧蚀、氧化物辅助生长、溶液法、电子束光刻、纳米压印光刻和金属辅助化学刻蚀等,并对各种方法的优缺点进行了仔细叙述,总结了硅纳米线的两种典型生长方向(平面和垂直)的研究现状.最后阐述了近年来硅纳米线在电子器件、传感器件和太阳能电池的应用情况,并展望其发展趋势,为科研人员进一步开拓硅纳米线研究提供一定参考.

关 键 词:硅纳米线  制备方法  生长模式  电子器件  传感器  太阳能电池

Research Progress on Preparation and Application of Silicon Nanowires
HU Dewei,TANG Anjiang,TANG Shiyun,WEI Deju,TIAN Hexin. Research Progress on Preparation and Application of Silicon Nanowires[J]. Journal of Synthetic Crystals, 2020, 49(9): 1743-1751
Authors:HU Dewei  TANG Anjiang  TANG Shiyun  WEI Deju  TIAN Hexin
Abstract:
Keywords:
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